آلة التنظيف بالبلازما الفراغية SPV-200
- وصف
- سؤال
وصف
آلة التنظيف بالبلازما الفراغية SPV-200
Outline:
Vacuum Plasma Cleaner(منظف البلازما),the gas is separated into plasma state through the excitation power supply, and the plasma ACTS on the product surface to clean the pollutants on the product surface, so as to improve the surface activity and enhance the adhesion.Plasma cleaning is a new, حماية البيئة, efficient and stable surface treatment.
آلة التنظيف بالبلازما الفراغية SPV-200
صroduct feature:
1.Product placement fixture flexible, can adapt to irregular products
2.Horizontal electrode design can meet the requirements of soft product processing.
3.Low energy and gas consumption products.
4.Convenient way to put up and down the board
5.Vacuum system integration, small footprint
6.Reasonable plasma reaction space, so that the treatment is more uniform
7.Integrated control system design makes operation more convenient
آلة التنظيف بالبلازما الفراغية SPV-200
أناndustry application:
1.Mobile phone industry: TP, middle frame, back cover surface cleaning activation
2.صناعة ثنائي الفينيل متعدد الكلور/FPC: hole drilling and surface cleaning, Coverlay surface coarsening and cleaning
3.صناعة أشباه الموصلات: semiconductor packaging, وحدة الكاميرا, LED packaging, BGA packaging, 4.Wire Bond pretreatment
5.Ceramics: التعبئة والتغليف, pre-treatment of glue
6.Surface roughening etching: PI surface roughening, PPS etching, semiconductor silicon chip PN junction removal, ITO film etching
7.Plastic materials: Teflon surface activation, ABS surface activation, and other plastic material cleaning activation
8.Clean the surface before applying ITO
آلة التنظيف بالبلازما الفراغية SPV-200
سpecification of equipment:
Power system | radio-frequency power supply | medium-frequency power supply | |
قوة | 0~1000W | 0~2000W | |
تكرار | 13.56ميغاهيرتز | 40كيلوهرتز | |
vacuum system | · multi cell pump
| Roots pump + single stage rotary vane pump | |
vacuum line | All stainless steel piping, and high strength vacuum bellows | ||
· Material
| Aluminum alloy (customizable stainless steel chamber) | ||
سماكة | 25مم | ||
leakproofness | Military grade welding seal | ||
Cavity internal dimensions | 600×600×600mm(W×H×D) | ||
Effective size of electrode plate | 575×510mm(W×D) | ||
Available space spacing | 34مم | ||
Electrode plate layout | Horizontal layout, movable extraction | ||
Work tray | Standard set, material optional (الألومنيوم, wire mesh) | ||
work space | 8 layer | ||
Gas system | مجموعة تدفق | 0~300SCCM | |
Process gas gas circuit | Standard two channels, can be customized (argon, الأكسجين, نتروجين, هيدروجين, carbon tetrafluoride) | ||
نظام التحكم | systems control | PLC | |
delivery method | 7 شاشة تعمل باللمس بوصة | ||
· Other Parameter
| البعد الحدودي | 1050×1750×1050mm(宽×高×深) | |
وزن | 350كلغ | ||
Device Appearance Color | silver gray |
مواصفات المصنع:
مواصفات المصنع | |
مواصفات طاقة التيار المتردد
| مزود الطاقة:AC380V,50/60هرتز,5الأسلاك,50أ |
عادم المصنع
| تدفق:2.0 م³/دقيقة |
Gas requirements for plant work
| تدفق:1~10 L/min ضغط:3~7 كجم/سم² Pipe diameter:6×4 mm Texture:أنبوب بو نقاء:أكثر من 99.99% |
متطلبات الهواء المضغوط للمصنع
| تدفق:1~10 L/min ضغط:3~7 كجم/سم² Pipe diameter:8×5 mm Texture:أنبوب بو Dew point:-40℃ under الجسيمات> 0.3 ميكرومتر:10قطعة/قدم³ |
2.3 زعمومًا رالمتطلبات
المتطلبات العامة | |
تعريف المخاطر | تحديد مخاطر الضغط العالي
|
Service environment | درجة حرارة:15~30 درجة مئوية رطوبة:30~70% |
Other matters needing attention | الغازات غير القابلة للاحتراق, الغازات المسببة للتآكل, الانفجارات أو الغبار التفاعلي Gas cylinders need to be fixed |
قائمة التكوين | |||||
Serial Number | اسم | وصف | وحدة | quantity | |
1 | المحرك الرئيسي | البعد الحدودي:1050×1750×1050mm (width × height × depth) | Pc | 1 | |
2 | Love sincerely | Aluminum alloy vacuum chamber inside dimension 450×450×500mm (width × height × depth) | Pc | 1 | |
3 | Excitation power supply | radio-frequency power supply | edium-frequency power supply | تعيين | 1 |
تكرار:13.56ميغاهيرتز; قوة: 0~1000W Equipped with automatic vacuum capacitor matching machine | تكرار:40كيلوهرتز; 0~2000W;
| ||||
4 | PLC | Siemens,S7-200 | Pc | 1 | |
5 | شاشة اللمس | Wei lun tong,7 inch screen,MT6071iE | Pc | 1 | |
6 | Flowmeter | · British wawick brand,Argon,الأكسجين
| Pc | 2 | |
7 | مضخة فراغ | Roots pump (BSJ70) -251 m3/h + single stage rotary vane pump (Laipo SV100B-100m3/h) | Pc | 1 | |
8 | Vacuum gauge | · INFICON
| Pc | 1 | |
9 | تخصيص | Vacuum plasma cleaning machine spv-200 operation manual | Pc | 1 |