Descrizione

SPV-200 Macchina per la pulizia al plasma sottovuoto

Contorno:

Vacuum Plasma Cleaner(Pulitore al plasma),il gas viene separato allo stato di plasma attraverso l'alimentazione di eccitazione, e il plasma agisce sulla superficie del prodotto per pulire gli inquinanti sulla superficie del prodotto, in modo da migliorare l'attività superficiale e migliorare l'adesione. La pulizia al plasma è una novità, protezione ambientale, trattamento superficiale efficiente e stabile.

SPV-200 Macchina per la pulizia al plasma sottovuoto

Pcaratteristica del prodotto:

1.Product placement fixture flexible, can adapt to irregular products

2.Horizontal electrode design can meet the requirements of soft product processing.

3.Low energy and gas consumption products.

4.Convenient way to put up and down the board

5.Vacuum system integration, small footprint

6.Reasonable plasma reaction space, so that the treatment is more uniform

7.Integrated control system design makes operation more convenient

SPV-200 Macchina per la pulizia al plasma sottovuoto

IOapplicazione industriale:

1.Mobile phone industry: TP, middle frame, back cover surface cleaning activation

2.PCB/FPC industry: hole drilling and surface cleaning, Coverlay surface coarsening and cleaning

3.Industria dei semiconduttori: semiconductor packaging, modulo fotocamera, LED packaging, BGA packaging, 4.Wire Bond pretreatment

5.Ceramics: confezione, pre-treatment of glue

6.Surface roughening etching: PI surface roughening, PPS etching, semiconductor silicon chip PN junction removal, ITO film etching

7.Plastic materials: Teflon surface activation, ABS surface activation, and other plastic material cleaning activation

8.Clean the surface before applying ITO

SPV-200 Macchina per la pulizia al plasma sottovuoto

Sspecifica dell'attrezzatura:

Power systemradio-frequency power supplymedium-frequency power supply
energia0~1000W0~2000W
frequenza13.56MHz40KHz
vacuum system· multi cell pump

 

Roots pump + single stage rotary vane pump
vacuum lineAll stainless steel piping, and high strength vacuum bellows
· Material

 

Aluminum alloy (customizable stainless steel chamber)
spessore25mm
leakproofnessMilitary grade welding seal
Cavity internal dimensions600×600×600mm(W×H×D)
Effective size of electrode plate575×510mm(W×D)
Available space spacing34mm
Electrode plate layoutHorizontal layout, movable extraction
Work trayStandard set, material optional (alluminio, wire mesh)
work space8 strato
Gas systemflow range0~300SCCM
Process gas gas circuitStandard two channels, can be customized (argon, ossigeno, azoto, hydrogen, carbon tetrafluoride)
sistema di controllosystems controlPLC
delivery method7 schermo tattile da pollici
· Other Parameter

boundary dimension1050×1750×1050mm(宽×高×深)
peso350KG
Device Appearance Colorsilver gray

Specifiche di fabbrica:

Specifiche di fabbrica
Specifiche di alimentazione CA

 

Alimentazione elettrica:AC380V,50/60Hz,5filo,50UN
Scarico di fabbrica

 

Flow:2.0 m³/min
Gas requirements for plant work

 

Flow:1~10 L/min

Pressure:3~7kg/cm²

Pipe diameter:6×4 mm

Texture:Tubo in PU

Purezza:More than 99.99%

Factory compressed air requirements

 

Flow:1~10 L/min

Pressure:3~7kg/cm²

Pipe diameter:8×5 mm

Texture:Tubo in PU

Dew point:-40℃ under

Particella>0,3μm:10Pezzi/ft³

2.3 Ggeneralmente Rrequisiti

Requisiti generali
Identificazione del rischioIdentificazione del pericolo di alta pressione

 

Ambiente di serviziotemperatura:15~30℃

umidità:30~70%

Altre questioni che richiedono attenzioneGas non combustibili, gas corrosivi, esplosioni o polveri reattive

Gas cylinders need to be fixed

Elenco di configurazione
Serial NumberNomedescriptionunitàquantity
1Main engineboundary dimension:1050×1750×1050mm

(width × height × depth)

Pc1
2Love sincerelyAluminum alloy vacuum chamber

inside dimension 450×450×500mm

(width × height × depth)

Pc1
3Excitation power supplyradio-frequency power supplyedium-frequency power supplySet1
frequenza:13.56MHz;

Energia: 0~1000W

Equipped with automatic vacuum capacitor matching machine

frequenza:40KHz;

0~2000W;

 

4PLCSiemensS7-200Pc1
5Touch screenWei lun tong,7 inch screenMT6071iEPc1
6Misuratore di flusso· British wawick brand,Argon,Oxygen

 

Pc2
7Vacuum pumpRoots pump (BSJ70) -251 m3/h + single stage rotary vane pump (Laipo SV100B-100m3/h)Pc1
8Vacuum gauge· INFICON

 

Pc1
9SpecificaVacuum plasma cleaning machine spv-200 operation manualPc1






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