序文
ISO (国際標準化機構) 各国の標準化団体の世界的な連合体です (ISO会員団体). 国際規格の開発は通常、ISO 技術委員会を通じて行われます。. 技術委員会が設立された主題に関心のある各メンバーグループは、委員会に代表される権利を有します。. 国際的, ISO と連携する政府および非政府組織もこの作業に関与しています。. ISO は国際電気標準会議と緊密に連携しています。 (IEC) 電気の標準化に関するあらゆる問題について.

一部 1 ISO/IEC 指令のこの文書の作成とさらなるメンテナンスに使用される手順が説明されています. 特に, ISO 文書の種類ごとに必要な承認基準が異なることに注意してください。. この文書は、第 1 部の編集規則に従って草案されています。 2 ISO/IEC 指令の (iso.org/directives を参照してください。).

この文書の一部の要素は特許権の対象となる可能性があることに注意してください。. ISO は、そのような特許の一部またはすべてを特定する責任を負いません。. 文書作成プロセス中に特定された特許権の詳細は、受領した ISO 特許クレームの紹介および/またはリストに含まれます。 (iso.org/patentsを参照してください。).

この文書で使用されている商号はユーザーの便宜のために提供された情報であり、推奨を構成するものではありません。.

Explanations of the relevant standards of voluntary, ISO specific terms related to conformity assessment and the expression of meaning, and the ISO in the technical barriers to trade (未定) adhere to the principle of the world trade organization (WTO) information, please refer to the iso.org/iso/foreword.html.

This document has been prepared by ISO/TC 206 Technical Committee on Fine Ceramics.

この文書に関するフィードバックや質問は、ユーザーの国内標準化団体に問い合わせてください。. A complete list of these institutions can be found at iso.org/members.html.

ISO 23737-2021 “ファインセラミックス (アドバンストセラミックス, 先進的なテクニカルセラミックス) – ファインセラミックス膜の湿潤・乾燥条件における摩耗・摩擦特性の評価方法”

導入
Fine ceramic films are used in a variety of applications, such as sensors, actuators or other micromechanical components; Display element; Memory element; Recording media; Optical element; Packaging film; And films and glass for buildings and vehicles. In the industrial application of fine ceramic films, wear resistance is an important index for evaluation. ファインセラミックスフィルムの耐摩耗性は周囲の湿度やフィルムの湿度履歴に大きく影響されます。. ファインセラミックスフィルムは、広い湿度範囲にわたる耐摩耗性と摩擦係数を評価する基準が必要な、さまざまな湿度環境でも使用されます。. これまでに発行された耐摩耗性試験の規格は、次の温度環境のみを想定しています。 23 °C および相対湿度 50 %. 測定するフィルムの厚みも比較的厚い, 数～10μm程度. これらの試験手順は、厚さ約 100 μm までのファインセラミックス膜の耐摩耗性の評価には適していません。 1 小さな押し込み荷重の耐摩耗性は試験環境の相対湿度に影響されるため、電子および光学デバイスでの使用には µm, つまり. 小さな押し込み荷重によるファインセラミックフィルムの摩耗試験に使用されるメカニズムは、試験環境の相対湿度に大きく影響されます。. したがって, ファインセラミックス膜の摩耗試験は、指定された相対湿度条件下で実施する必要があります。. この文書では、ファインセラミックス皮膜の耐摩耗性を正確に評価するための測定結果を提供します。, およその厚さまで 1 μm, 薄い基板または有機ポリマーフィルム上に堆積, 乾燥した高湿度の環境で. この文書は、これらの測定値の迅速な普及を通じて産業の発展を促進するために開発されました。.

1 適用範囲
この文書は、乾燥および高湿環境におけるファインセラミックス膜の耐摩耗性および摩擦係数の試験方法を規定しています。, where such films may be up to approximately 1 µm thick and deposited on a substrate or base, including thin or very thin organic polymer film substrates.

2 規範的な参照ファイル
文脈内で以下の文書が参照されている場合, それらの一部またはすべてがこの文書の要件を構成します. 日付の付いた参照については, 引用のみのバージョンが適用されます. 日付のない引用については, 参照ドキュメントの最新バージョン (修正も含めて) 当てはまる.

ISO 3274, Geometric Product Specification (GPS) – Surface texture: section method – Nominal characteristics of contact (stylus) 楽器

ISO 13565-1, Geometric Product Specification (GPS) – Surface Texture: Section method Surfaces with layered functional properties – 一部 1: filtration and general measurement conditions

ISO 13565-2, Geometric Product Specification (GPS) – Surface Texture: Section method Surfaces with layered functional properties – 一部 2: Characterization of heights using linear material ratio curves

ISO 20507, ファインセラミックス (アドバンストセラミックス, 先進的なテクニカルセラミックス) — 語彙

3 用語と定義
この文書の目的のために, ISO で与えられる用語と定義 20507 以下に該当します.

3.2 Friction force

The resistance exerted on a relative body when objects in contact move or tend to slide against each other

3.3 Friction coefficient

The dimensionless ratio of friction to the applied normal force

3.4 Wear test

Tests for the evaluation of friction and wear characteristics caused by sliding contact motion

注記 1: In a narrow sense, 用語 “wear test” refers to the process by which wear occurs on the specimen as a result of sliding motion; In broad terms, it means processes such as sample preparation, wear formation, friction coefficient measurement, and evaluation of wear trajectoryand wear parts formed on the inverse material.

3.5 Drying Chamber

A sealed container for removing moisture from the surface of the sample while the sample is kept in a vacuum

3.6 相対湿度

Ratio of partial vapor pressure to saturated vapor pressure at a given temperature

3.7 Dry air

Air with a dew point of −60 °C or lower at an absolute pressure of 101.3 kPa

3.8 Dry Nitrogen

At an absolute pressure of 101.3 kPa, the dew point is −60 °C or lower nitrogen

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