คำนำ
ไอเอสโอ (องค์การระหว่างประเทศเพื่อการมาตรฐาน) เป็นสหพันธ์ระดับโลกของหน่วยงานมาตรฐานแห่งชาติ (สมาชิกของไอเอสโอ). การพัฒนามาตรฐานสากลมักดำเนินการผ่านคณะกรรมการด้านเทคนิคของไอเอสโอ. Each member group interested in a subject on which a technical committee has been established has the right to be represented on the Committee. International, governmental and non-governmental organizations in liaison with ISO are also involved in this work. ISO ทำงานอย่างใกล้ชิดกับ International Electrotechnical Commission (ไออีซี) ในทุกเรื่องของมาตรฐานไฟฟ้า.

ส่วนหนึ่ง 1 ของคำสั่ง ISO/IEC อธิบายขั้นตอนที่ใช้ในการพัฒนาเอกสารนี้และสำหรับการบำรุงรักษาเพิ่มเติม. โดยเฉพาะอย่างยิ่ง, สังเกตมาตรฐานการอนุมัติที่แตกต่างกันที่จำเป็นสำหรับเอกสาร ISO ประเภทต่างๆ. This document has been drafted in accordance with the editorial rules in Part 2 ของคำสั่ง ISO/IEC (ดูที่ iso.org/directives).

โปรดทราบว่าองค์ประกอบบางอย่างของเอกสารนี้อาจอยู่ภายใต้สิทธิบัตร. ISO จะไม่รับผิดชอบในการระบุสิทธิบัตรดังกล่าวบางส่วนหรือทั้งหมด. Details of any patent rights identified during the documentation development process will be included in the introduction and/or list of ISO patent claims received (ดูที่ iso.org/patents).

ชื่อทางการค้าใดๆ ที่ใช้ในเอกสารนี้เป็นข้อมูลที่ให้ไว้เพื่อความสะดวกของผู้ใช้และไม่ถือเป็นการรับรอง.

คำอธิบายมาตรฐานที่เกี่ยวข้องของความสมัครใจ, ข้อกำหนดเฉพาะของ ISO ที่เกี่ยวข้องกับการประเมินความสอดคล้องและการแสดงออกของความหมาย, และ ISO ในอุปสรรคทางเทคนิคต่อการค้า (จะแจ้งภายหลัง) ยึดมั่นในหลักการขององค์กรการค้าโลก (องค์การการค้าโลก) ข้อมูล, please refer to the iso.org/iso/foreword.html.

This document has been prepared by ISO/TC 206 Technical Committee on Fine Ceramics.

ข้อเสนอแนะหรือคำถามใดๆ เกี่ยวกับเอกสารนี้ควรอ้างอิงถึงหน่วยงานมาตรฐานแห่งชาติของผู้ใช้. A complete list of these institutions can be found at iso.org/members.html.

ไอเอสโอ 23737-2021 “เซรามิกชั้นดี (เซรามิกขั้นสูง, เซรามิกทางเทคนิคขั้นสูง) – วิธีการประเมินคุณลักษณะการสึกหรอและการเสียดสีของฟิล์มเซรามิกเนื้อละเอียดภายใต้สภาวะเปียกและแห้ง”

แนะนำ
Fine ceramic films are used in a variety of applications, such as sensors, actuators or other micromechanical components; Display element; Memory element; Recording media; Optical element; Packaging film; And films and glass for buildings and vehicles. In the industrial application of fine ceramic films, wear resistance is an important index for evaluation. The wear resistance of fine ceramic films is greatly affected by the ambient humidity and the humidity history of the films. Fine ceramic films are also used in different humidity environments where criteria are required to evaluate wear resistance and friction coefficient over a wide humidity range. The standards published to date for wear resistance testing only assume a temperature environment of 23 °C and a relative humidity of 50 %. The thickness of the film to be measured is also relatively large, with a few to 10μm. These test procedures are not suitable for evaluating the wear resistance of fine ceramic films with thickness up to approximately 1 µm for use in electronic and optical devices because the wear resistance of small indentation loads is affected by the relative humidity of the test environment, เช่น. the mechanism used in the wear testing of fine ceramic films with small indentation loads is strongly affected by the relative humidity of the test environment. ดังนั้น, the wear test of fine ceramic film should be carried out under the specified relative humidity conditions. This document provides measurements that help accurately assess the wear resistance of fine ceramic films, up to a thickness of approximately 1 ไมโครเมตร, deposited on thin substrates or organic polymer films, in dry and high humidity environments. The present document has been developed to facilitate industrial development through the rapid dissemination of these measurements.

1 ขอบเขตการใช้งาน
This document specifies a method for testing the wear resistance and friction coefficient of fine ceramic films in dry and high humidity environments, where such films may be up to approximately 1 µm thick and deposited on a substrate or base, including thin or very thin organic polymer film substrates.

2 ไฟล์อ้างอิงเชิงบรรทัดฐาน
เมื่อมีการอ้างอิงเอกสารต่อไปนี้ในบริบท, บางส่วนหรือทั้งหมดถือเป็นข้อกำหนดของเอกสารนี้. สำหรับการอ้างอิงลงวันที่, ใช้เวอร์ชันอ้างอิงเท่านั้น. สำหรับการอ้างอิงที่ไม่ระบุวันที่, เอกสารอ้างอิงเวอร์ชันล่าสุด (รวมถึงการแก้ไขใดๆ) ใช้.

ไอเอสโอ 3274, Geometric Product Specification (จีพีเอส) – Surface texture: section method – Nominal characteristics of contact (stylus) เครื่องมือ

ไอเอสโอ 13565-1, Geometric Product Specification (จีพีเอส) – Surface Texture: Section method Surfaces with layered functional properties – ส่วนหนึ่ง 1: filtration and general measurement conditions

ไอเอสโอ 13565-2, Geometric Product Specification (จีพีเอส) – Surface Texture: Section method Surfaces with layered functional properties – ส่วนหนึ่ง 2: Characterization of heights using linear material ratio curves

ไอเอสโอ 20507, เซรามิกชั้นดี (เซรามิกขั้นสูง, เซรามิกทางเทคนิคขั้นสูง) — คำศัพท์

3 ข้อกำหนดและคำจำกัดความ
เพื่อวัตถุประสงค์ของเอกสารนี้, ข้อกำหนดและคำจำกัดความที่ให้ไว้ใน ISO 20507 และด้านล่างสมัคร.

3.2 Friction force

The resistance exerted on a relative body when objects in contact move or tend to slide against each other

3.3 Friction coefficient

The dimensionless ratio of friction to the applied normal force

3.4 Wear test

Tests for the evaluation of friction and wear characteristics caused by sliding contact motion

บันทึก 1: In a narrow sense, ระยะ “wear test” refers to the process by which wear occurs on the specimen as a result of sliding motion; In broad terms, it means processes such as sample preparation, wear formation, friction coefficient measurement, and evaluation of wear trajectoryand wear parts formed on the inverse material.

3.5 Drying Chamber

A sealed container for removing moisture from the surface of the sample while the sample is kept in a vacuum

3.6 ความชื้นสัมพัทธ์

Ratio of partial vapor pressure to saturated vapor pressure at a given temperature

3.7 Dry air

Air with a dew point of −60 °C or lower at an absolute pressure of 101.3 ปาสคาล

3.8 Dry Nitrogen

At an absolute pressure of 101.3 ปาสคาล, the dew point is −60 °C or lower nitrogen

เฉพาะส่วนข้อมูลมาตรฐานเท่านั้นที่เปิดเผยต่อสาธารณะ. หากต้องการดูเนื้อหาทั้งหมด, you will need to purchase the standard through the official channels.