передмова
ISO (Міжнародна організація стандартизації) є всесвітньою федерацією національних органів стандартизації (Органи-члени ISO). Розробка міжнародних стандартів зазвичай здійснюється через технічні комітети ISO. Кожна група членів, зацікавлена ​​в темі, з якої було створено технічний комітет, має право бути представленою в Комітеті. Міжнародний, урядові та неурядові організації, які співпрацюють з ISO, також залучені до цієї роботи. ISO тісно співпрацює з Міжнародною електротехнічною комісією (IEC) з усіх питань стандартизації електротехніки.

частина 1 Директиви ISO/IEC описує процедури, які використовуються для розробки цього документа та подальшого обслуговування. Зокрема, зверніть увагу на різні стандарти затвердження, необхідні для різних типів документів ISO. Цей документ складено відповідно до редакційних правил ч 2 Директиви ISO/IEC (див. iso.org/directives).

Зверніть увагу, що деякі елементи цього документа можуть бути об’єктом патентних прав. ISO не несе відповідальності за ідентифікацію будь-якого або всіх таких патентів. Деталі будь-яких патентних прав, виявлених під час процесу розробки документації, будуть включені до вступу та/або списку отриманих патентних претензій ISO (див. iso.org/patents).

Будь-які комерційні назви, використані в цьому документі, є інформацією, наданою для зручності користувача, і не є схваленням.

Пояснення відповідних стандартів добровільні, ISO specific terms related to conformity assessment and the expression of meaning, and the ISO in the technical barriers to trade (TBT) adhere to the principle of the world trade organization (WTO) information, please refer to the iso.org/iso/foreword.html.

This document has been prepared by ISO/TC 206 Technical Committee on Fine Ceramics.

Any feedback or questions on this document should be referred to the user’s national standards body. A complete list of these institutions can be found at iso.org/members.html.

ISO 23737-2021 “Тонка кераміка (Удосконалена кераміка, передова технічна кераміка) – Методи оцінки характеристик зношування та тертя тонких керамічних плівок у вологих та сухих умовах”

представити
Fine ceramic films are used in a variety of applications, such as sensors, actuators or other micromechanical components; Display element; Memory element; Recording media; Optical element; Packaging film; And films and glass for buildings and vehicles. In the industrial application of fine ceramic films, wear resistance is an important index for evaluation. The wear resistance of fine ceramic films is greatly affected by the ambient humidity and the humidity history of the films. Fine ceramic films are also used in different humidity environments where criteria are required to evaluate wear resistance and friction coefficient over a wide humidity range. The standards published to date for wear resistance testing only assume a temperature environment of 23 °C and a relative humidity of 50 %. The thickness of the film to be measured is also relatively large, with a few to 10μm. These test procedures are not suitable for evaluating the wear resistance of fine ceramic films with thickness up to approximately 1 µm for use in electronic and optical devices because the wear resistance of small indentation loads is affected by the relative humidity of the test environment, тобто. the mechanism used in the wear testing of fine ceramic films with small indentation loads is strongly affected by the relative humidity of the test environment. тому, the wear test of fine ceramic film should be carried out under the specified relative humidity conditions. This document provides measurements that help accurately assess the wear resistance of fine ceramic films, up to a thickness of approximately 1 мкм, deposited on thin substrates or organic polymer films, in dry and high humidity environments. The present document has been developed to facilitate industrial development through the rapid dissemination of these measurements.

1 Сфера застосування
This document specifies a method for testing the wear resistance and friction coefficient of fine ceramic films in dry and high humidity environments, where such films may be up to approximately 1 µm thick and deposited on a substrate or base, including thin or very thin organic polymer film substrates.

2 Нормативні довідкові файли
Коли в контексті є посилання на такі документи, частина або всі з них складають вимоги цього документа. Для датованих посилань, застосовуються версії лише для цитування. Для недатованих цитат, остання версія документа, на який посилається (включаючи будь-які поправки) застосовується.

ISO 3274, Geometric Product Specification (GPS) – Surface texture: section method – Nominal characteristics of contact (stylus) інструменти

ISO 13565-1, Geometric Product Specification (GPS) – Surface Texture: Section method Surfaces with layered functional properties – частина 1: filtration and general measurement conditions

ISO 13565-2, Geometric Product Specification (GPS) – Surface Texture: Section method Surfaces with layered functional properties – частина 2: Characterization of heights using linear material ratio curves

ISO 20507, Тонка кераміка (Удосконалена кераміка, передова технічна кераміка) — Словниковий запас

3 Терміни та визначення
Для цілей цього документа, терміни та визначення, наведені в ISO 20507 і нижче застосовувати.

3.2 Friction force

The resistance exerted on a relative body when objects in contact move or tend to slide against each other

3.3 Friction coefficient

The dimensionless ratio of friction to the applied normal force

3.4 Wear test

Tests for the evaluation of friction and wear characteristics caused by sliding contact motion

Примітка 1: In a narrow sense, the term “wear test” refers to the process by which wear occurs on the specimen as a result of sliding motion; In broad terms, it means processes such as sample preparation, wear formation, friction coefficient measurement, and evaluation of wear trajectoryand wear parts formed on the inverse material.

3.5 Drying Chamber

A sealed container for removing moisture from the surface of the sample while the sample is kept in a vacuum

3.6 Відносна вологість

Ratio of partial vapor pressure to saturated vapor pressure at a given temperature

3.7 Dry air

Air with a dew point of −60 °C or lower at an absolute pressure of 101.3 кПа

3.8 Dry Nitrogen

At an absolute pressure of 101.3 кПа, the dew point is −60 °C or lower nitrogen

Відкритим є лише стандартний інформаційний розділ. Щоб переглянути повний вміст, вам потрібно буде придбати стандарт через офіційні канали.