SPV-60 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine
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Beschreibung
SPV-60 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine
Gliederung:
Vakuum-Plasmareiniger(Plasmareiniger),Durch die Anregungsstromversorgung wird das Gas in den Plasmazustand zerlegt, und das Plasma WIRKT auf der Produktoberfläche, um die Schadstoffe auf der Produktoberfläche zu reinigen, um die Oberflächenaktivität zu verbessern und die Haftung zu verbessern. Die Plasmareinigung ist neu, Umweltschutz, effiziente und stabile Oberflächenbehandlung.
SPV-60 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine
PProduktmerkmal:
1.Produktplatzierungseinrichtung flexibel, kann sich an unregelmäßige Produkte anpassen
2.Das horizontale Elektrodendesign kann die Anforderungen der Verarbeitung weicher Produkte erfüllen.
3.Produkte mit geringem Energie- und Gasverbrauch.
4.Bequeme Möglichkeit, das Board auf- und abzustellen
5.Vakuumsystemintegration, kleiner Fußabdruck
6.Angemessener Plasmareaktionsraum, damit die Behandlung gleichmäßiger ist
7.Das integrierte Steuerungssystemdesign macht die Bedienung komfortabler
SPV-60 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine
ICHIndustrieanwendung:
1.Mobiltelefonindustrie: TP, mittlerer Rahmen, Aktivierung der Oberflächenreinigung der hinteren Abdeckung
2.PCB/FPC-Industrie: Lochbohren und Oberflächenreinigung, Vergröberung und Reinigung der Deckschichtoberfläche
3.Halbleiterindustrie: Halbleiterverpackung, Kameramodul, LED-Verpackung, BGA-Verpackung, 4.Vorbehandlung des Drahtbonds
5.Keramik: Verpackung, Vorbehandlung von Leim
6.Ätzen zur Oberflächenaufrauung: Aufrauen der PI-Oberfläche, PPS-Ätzung, Entfernen des PN-Übergangs von Halbleiter-Siliziumchips, DAS ist Filmätzen
7.Plastik Materialien: Teflon-Oberflächenaktivierung, ABS-Oberflächenaktivierung, und andere Kunststoffreinigungsaktivierung
8.Reinigen Sie die Oberfläche, bevor Sie ITO auftragen
SPV-60 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine
Technical specifications
| Power System
| Radio-frequency power supply | Medium-frequency power supply | |
| Leistung | 0~600W | 0~1000W | |
| Frequenz | 13.56MHz | 40KHz | |
| Vacuum system
| Two-stage rotary vane pump (Ölpumpe) | 40m3/h | |
| Vacuum line | All stainless steel piping, and high strength vacuum bellows | ||
| Material | Aluminiumlegierung (customizable stainless steel chamber) | ||
| Dicke | 25mm | ||
| Leakproofness | Schweißdichtung in Militärqualität | ||
| Internal dimension of cavity | 375×375×430mm（W×H×D） | ||
| Effektive Größe der Elektrodenplatte | 345×344mm（W×D） | ||
| Verfügbarer Platzabstand | 22.5mm | ||
| Electrode plate layout | Horizontal layout, movable extraction | ||
| Arbeitstablett | Standard set, Material optional (Aluminium, wire mesh) | ||
| Work space | 6 layers | ||
| Gassystem
| Flow range | 0~300 SCCM | |
| Process gas gas circuit | Standard with two channels, kann angepasst werden | ||
| Kontrollsystem | System control | SPS | |
| Delivery method | 7 Zoll-Touchscreen | ||
| Other Parameter
| Boundary dimension | 900×1600×900mm（宽×高×深） | |
| Gewicht | 150KG | ||
| Device appearance color | Silber grau | ||
Factory specification requirements
| Factory specification requirements | |
| Ac power specifications | Stromversorgung：AC380V，50/60Hz，5 Linien，50A |
| Werksauspuff | Fließen：2.0 m³/min |
| Gas requirements for factory work | Fließen：1~10 l/min Druck：3~7 kg/cm² Rohrdurchmesser：6×4 mm Material: PU-Rohr Reinheit: über 99.99% |
| Anforderungen an die werkseitige Druckluft | Fließen：1~10 l/min Druck：3~7 kg/cm² Rohrdurchmesser：8×5 mm Material: PU-Rohr Taupunkt: unter -40℃ Partikel > 0,3 μm：10Stück/ft³ |
Configuration list
| configuration list | |||||
| NEIN | Name | Beschreibung | Einheit | Menge | |
| 1 | Gastgeber | Boundary dimension：900×1600×900mm（W×H×D） | Stk | 1 | |
| 2 | Vacuum chamber | Vakuumkammer aus Aluminiumlegierung Inside dimension375×375×430mm（W×H×D） | Stk | 1 | |
| 3 | Erregerstromversorgung | Radio-frequency power supply | Medium-frequency power supply | Satz | 1 |
| Frequenz：13.56MHz； Leistung ：0~600W Automatic vacuum capacitor matcher | Frequenz：40KHz； 0~1000W;
| ||||
| 4 | SPS | SIEMENS，S7-200 | Stk | 1 | |
| 5 | Touch-Screen | Vellon, 7 Zoll-Bildschirm, MT6071iE | Stk | 1 | |
| 6 | Durchflussmesser | British Wawick brand | Stk | 2 | |
| 7 | Vakuumpumpe | Flyover two-stage rotary vane pump (Ölpumpe) : 40m3/h | Stk | 1 | |
| 8 | Vakuummessgerät | INFICON
| Stk | 1 | |
| 9 | Manual
| Operation manual of vacuum plasma cleaner SPV-60 | Stk | 1 | |
Optional table
| Optional table | ||
| Erregerstromversorgung | Radio-frequency power supply | Medium-frequency power supply |
| Custom power: Frequenz：13.56MHz； Leistung：0~1000W； Custom automatic vacuum capacitor matching machine | Frequenz：40KHz，Leistung：2000W
| |
| CERES power supply: frequency 13.56MHz； Leistung：0~600W or 0~1000W Optional ； American CERES automatic vacuum capacitor matcher | ||
| Vakuumpumpe | Germany Leibao double-stage rotary vane pump (Ölpumpe)：40m3/h | |
| Flyover two-stage rotary vane pump (Ölpumpe) ：40m3/h | ||
