Beschreibung

SPV-20 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine

Gliederung:

Vakuum-Plasmareiniger(Plasmareiniger),Durch die Anregungsstromversorgung wird das Gas in den Plasmazustand zerlegt, und das Plasma WIRKT auf der Produktoberfläche, um die Schadstoffe auf der Produktoberfläche zu reinigen, um die Oberflächenaktivität zu verbessern und die Haftung zu verbessern. Die Plasmareinigung ist neu, Umweltschutz, effiziente und stabile Oberflächenbehandlung.

SPV-20 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine

PProduktmerkmal:

1.Produktplatzierungseinrichtung flexibel, kann sich an unregelmäßige Produkte anpassen

2.Das horizontale Elektrodendesign kann die Anforderungen der Verarbeitung weicher Produkte erfüllen.

3.Produkte mit geringem Energie- und Gasverbrauch.

4.Bequeme Möglichkeit, das Board auf- und abzustellen

5.Vakuumsystemintegration, kleiner Fußabdruck

6.Angemessener Plasmareaktionsraum, damit die Behandlung gleichmäßiger ist

7.Das integrierte Steuerungssystemdesign macht die Bedienung komfortabler

SPV-20 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine

ICHIndustrieanwendung:

1.Mobiltelefonindustrie: TP, mittlerer Rahmen, Aktivierung der Oberflächenreinigung der hinteren Abdeckung

2.PCB/FPC-Industrie: Lochbohren und Oberflächenreinigung, Vergröberung und Reinigung der Deckschichtoberfläche

3.Halbleiterindustrie: Halbleiterverpackung, Kameramodul, LED-Verpackung, BGA-Verpackung, 4.Vorbehandlung des Drahtbonds

5.Keramik: Verpackung, Vorbehandlung von Leim

6.Ätzen zur Oberflächenaufrauung: Aufrauen der PI-Oberfläche, PPS-Ätzung, Entfernen des PN-Übergangs von Halbleiter-Siliziumchips, DAS ist Filmätzen

7.Plastik Materialien: Teflon-Oberflächenaktivierung, ABS-Oberflächenaktivierung, und andere Kunststoffreinigungsaktivierung

8.Reinigen Sie die Oberfläche, bevor Sie ITO auftragen

SPV-20 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine

TTechnische Spezifikationen

StromversorgungssystemHochfrequenz-Stromversorgung
Leistung0~300W
Frequenz13.56MHz
Vakuumsystem

 

Zweistufige Drehschieberpumpe (Ölpumpe)

 

16m3/h
VakuumleitungAlle Rohrleitungen aus Edelstahl, und hochfeste Vakuumbälge
MaterialAluminiumlegierung (Anpassbare Edelstahlkammer)
Dicke25mm
Auslaufsicherheit

 

Schweißdichtung in Militärqualität
Innenmaß des Hohlraums20L
Verfügbarer Platzabstand22.5mm
Anordnung der ElektrodenplatteHorizontales Layout, bewegliche Absaugung
ArbeitstablettStandardset, Material optional (Aluminium, Drahtgitter)
Gassystem

 

Durchflussbereich0~300 SCCM
Prozessgas-GaskreislaufStandardmäßig mit zwei Kanälen, kann angepasst werden
KontrollsystemSystemsteuerungSPS
Versandart7 Zoll-Touchscreen
Der andere Parameter

 

Grenzdimension900×1600×900mm (B×H×T)
Gewicht150KG
Farbe des Erscheinungsbilds des GerätsSilber grau

Spezifikationsanforderungen

Anforderungen an die Werksspezifikationen
Spezifikationen für WechselstromStromversorgung:AC380V,50/60Hz,5Linien,50A
WerksauspuffFließen:2.0 m³/min
Gasbedarf für FabrikarbeitenFließen:1~10 l/min

Druck:3~7 kg/cm²

Rohrdurchmesser:6×4 mm

Material: PU-Rohr

Reinheit: über 99.99%

Anforderungen an die werkseitige DruckluftFließen:1~10 l/min

Druck:3~7 kg/cm²

Rohrdurchmesser:8×5 mm

Material: PU-Rohr

Taupunkt: unter -40℃

Partikel > 0,3 μm:10Stück/ft³

Konfigurationsliste

Konfigurationsliste
NEINNameBeschreibungEinheitMenge
1GastgeberGrenzdimension:900×1600×900mm (B×H×T)Stk1
2 VakuumkammerVakuumkammer aus AluminiumlegierungStk1
3ErregerstromversorgungHochfrequenz-StromversorgungSatz1
Frequenz:13.56MHz;

Leistung:0~300W

Automatischer Vakuum-Kondensator-Matcher

4SPSSIEMENS,S7-200Stk1
5Touch-ScreenSchleier, 7 Zoll-Bildschirm,MT6071iEStk1
6DurchflussmesserBritische Marke WawickStk2
7VakuumpumpeZweistufige Flyover-Drehschieberpumpe (Ölpumpe):40m3/hStk1
8VakuummessgerätINFICON

 

Stk1
9Handbuch

 

Bedienungsanleitung des Vakuum-Plasmareinigers SPV-20Stk1






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