SPV-60 เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าระบบสุญญากาศ
- คำอธิบาย
- สอบถามรายละเอียดเพิ่มเติม
คำอธิบาย
SPV-60 เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าระบบสุญญากาศ
Outline:
Vacuum Plasma Cleaner(เครื่องทำความสะอาดพลาสม่า),the gas is separated into plasma state through the excitation power supply, and the plasma ACTS on the product surface to clean the pollutants on the product surface, so as to improve the surface activity and enhance the adhesion.Plasma cleaning is a new, การคุ้มครองสิ่งแวดล้อม, efficient and stable surface treatment.
SPV-60 เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าระบบสุญญากาศ
ปroduct feature:
1.Product placement fixture flexible, can adapt to irregular products
2.Horizontal electrode design can meet the requirements of soft product processing.
3.Low energy and gas consumption products.
4.Convenient way to put up and down the board
5.Vacuum system integration, small footprint
6.Reasonable plasma reaction space, so that the treatment is more uniform
7.Integrated control system design makes operation more convenient
SPV-60 เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าระบบสุญญากาศ
ฉันndustry application:
1.Mobile phone industry: TP, middle frame, back cover surface cleaning activation
2.PCB/FPC industry: hole drilling and surface cleaning, Coverlay surface coarsening and cleaning
3.Semiconductor industry: semiconductor packaging, โมดูลกล้อง, LED packaging, BGA packaging, 4.Wire Bond pretreatment
5.Ceramics: บรรจุภัณฑ์, pre-treatment of glue
6.Surface roughening etching: PI surface roughening, PPS etching, semiconductor silicon chip PN junction removal, ITO film etching
7.Plastic materials: Teflon surface activation, ABS surface activation, and other plastic material cleaning activation
8.Clean the surface before applying ITO
SPV-60 เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าระบบสุญญากาศ
ตechnical specifications
| Power System
| Radio-frequency power supply | Medium-frequency power supply | |
| พลัง | 0~600W | 0~1000W | |
| ความถี่ | 13.56เมกะเฮิรตซ์ | 40กิโลเฮิรตซ์ | |
| ระบบสุญญากาศ
| Two-stage rotary vane pump (oil pump) | 40m3/h | |
| Vacuum line | All stainless steel piping, and high strength vacuum bellows | ||
| วัสดุ | อลูมิเนียมอัลลอยด์ (customizable stainless steel chamber) | ||
| ความหนา | 25มม | ||
| Leakproofness | Military grade welding seal | ||
| Internal dimension of cavity | 375×375×430mm（W×H×D） | ||
| Effective size of electrode plate | 345×344mm（W×D） | ||
| Available space spacing | 22.5มม | ||
| Electrode plate layout | Horizontal layout, movable extraction | ||
| Work tray | Standard set, material optional (อลูมิเนียม, wire mesh) | ||
| Work space | 6 layers | ||
| Gas system
| ช่วงการไหล | 0~300SCCM | |
| Process gas gas circuit | Standard with two channels, สามารถปรับแต่งได้ | ||
| ระบบควบคุม | System control | บมจ | |
| Delivery method | 7 หน้าจอสัมผัสขนาดนิ้ว | ||
| Other Parameter
| Boundary dimension | 900×1600×900mm（宽×高×深） | |
| น้ำหนัก | 150กิโลกรัม | ||
| Device appearance color | silver gray | ||
Factory specification requirements
| Factory specification requirements | |
| Ac power specifications | แหล่งจ่ายไฟ：AC380V，50/60เฮิรตซ์，5 เส้น，50ก |
| ท่อไอเสียโรงงาน | Flow：2.0 ลบ.ม./นาที |
| Gas requirements for factory work | Flow：1~10 L/min ความดัน：3~7 กก./ซม.² Pipe diameter：6×4 mm วัสดุ: ท่อพียู ความบริสุทธิ์: ข้างบน 99.99% |
| Factory compressed air requirements | Flow：1~10 L/min ความดัน：3~7 กก./ซม.² Pipe diameter：8×5 mm วัสดุ: ท่อพียู Dew point: below -40℃ อนุภาค>0.3μm：10ชิ้น/ฟุต³ |
คonfiguration list
| configuration list | |||||
| เลขที่ | ชื่อ | คำอธิบาย | หน่วย | จำนวน | |
| 1 | เจ้าภาพ | Boundary dimension：900×1600×900mm（W×H×D） | Pc | 1 | |
| 2 | Vacuum chamber | Aluminum alloy vacuum chamber Inside dimension375×375×430mm（W×H×D） | Pc | 1 | |
| 3 | Excitation power supply | Radio-frequency power supply | Medium-frequency power supply | ชุด | 1 |
| ความถี่：13.56เมกะเฮิรตซ์； พลัง ：0~600W Automatic vacuum capacitor matcher | ความถี่：40กิโลเฮิรตซ์； 0~1000W;
| ||||
| 4 | บมจ | SIEMENS，S7-200 | Pc | 1 | |
| 5 | หน้าจอสัมผัส | Vellon, 7 inch screen, MT6071iE | Pc | 1 | |
| 6 | Flowmeter | British Wawick brand | Pc | 2 | |
| 7 | ปั๊มสุญญากาศ | Flyover two-stage rotary vane pump (oil pump) : 40m3/h | Pc | 1 | |
| 8 | Vacuum gauge | INFICON
| Pc | 1 | |
| 9 | คู่มือ
| Operation manual of vacuum plasma cleaner SPV-60 | Pc | 1 | |
Optional table
| Optional table | ||
| Excitation power supply | Radio-frequency power supply | Medium-frequency power supply |
| Custom power: ความถี่：13.56เมกะเฮิรตซ์； พลัง：0~1000W； Custom automatic vacuum capacitor matching machine | ความถี่：40กิโลเฮิรตซ์，พลัง：2000ว
| |
| CERES power supply: frequency 13.56MHz； พลัง：0~600W or 0~1000W Optional ； American CERES automatic vacuum capacitor matcher | ||
| ปั๊มสุญญากาศ | Germany Leibao double-stage rotary vane pump (oil pump)：40m3/h | |
| Flyover two-stage rotary vane pump (oil pump) ：40m3/h | ||
