SPV-150 เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าระบบสุญญากาศ
- คำอธิบาย
- สอบถามรายละเอียดเพิ่มเติม
คำอธิบาย
SPV-150 เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าระบบสุญญากาศ
Outline:
Vacuum Plasma Cleaner(เครื่องทำความสะอาดพลาสม่า),the gas is separated into plasma state through the excitation power supply, and the plasma ACTS on the product surface to clean the pollutants on the product surface, so as to improve the surface activity and enhance the adhesion.Plasma cleaning is a new, การคุ้มครองสิ่งแวดล้อม, efficient and stable surface treatment.
SPV-150 เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าระบบสุญญากาศ
ปroduct feature:
1.Product placement fixture flexible, can adapt to irregular products
2.Horizontal electrode design can meet the requirements of soft product processing.
3.Low energy and gas consumption products.
4.Convenient way to put up and down the board
5.Vacuum system integration, small footprint
6.Reasonable plasma reaction space, so that the treatment is more uniform
7.Integrated control system design makes operation more convenient
ฉันndustry application:
1.Mobile phone industry: TP, middle frame, back cover surface cleaning activation
2.PCB/FPC industry: hole drilling and surface cleaning, Coverlay surface coarsening and cleaning
3.Semiconductor industry: semiconductor packaging, โมดูลกล้อง, LED packaging, BGA packaging, 4.Wire Bond pretreatment
5.Ceramics: บรรจุภัณฑ์, pre-treatment of glue
6.Surface roughening etching: PI surface roughening, PPS etching, semiconductor silicon chip PN junction removal, ITO film etching
7.Plastic materials: Teflon surface activation, ABS surface activation, and other plastic material cleaning activation
8.Clean the surface before applying ITO
SPV-150 เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าระบบสุญญากาศ
สpecification of equipment:
Power system | radio-frequency power supply | medium-frequency power supply | |
พลัง | 0~600W | 0~1000W or 0-2000W | |
ความถี่ | 13.56เมกะเฮิรตซ์ | 40กิโลเฮิรตซ์ | |
Vacuum plant | Double-stage vane pump (oil pump) | Double stage rotary vane pump (oil pump) or Roots pump + single stage rotary vane pump | |
vacuum line | All stainless steel piping and high strength vacuum bellows | ||
เนื้อสัมผัส | อลูมิเนียมอัลลอยด์ (customizable stainless steel cavity) | ||
ความหนา | 25มม | ||
leakproofness | Military grade welding seal | ||
Cavity internal dimensions | 500×500×670mm (width × height × depth) | ||
Effective size of electrode plate | 587×470mm(width × depth) | ||
Available space spacing | 34มม | ||
Electrode layout | Horizontal arrangement, activity extraction
| ||
Work tray | Standard one set, material optional (อลูมิเนียม, steel wire mesh) | ||
work space | 8 layer | ||
Gas system | flow range | 0~300SCCM | |
Process gas path | Standard with two, สามารถปรับแต่งได้ | ||
ระบบควบคุม | systems control | บมจ | |
delivery method | 7 หน้าจอสัมผัสขนาดนิ้ว | ||
Other parameters | มิติขอบเขต | 1020×1720×1120mm(w×h×d) | |
น้ำหนัก | 350กิโลกรัม | ||
Equipment appearance color | silver gray |
ข้อมูลจำเพาะของโรงงาน:
ข้อมูลจำเพาะของโรงงาน | |
ข้อมูลจำเพาะของไฟ AC
| แหล่งจ่ายไฟ:AC380V,50/60เฮิรตซ์,5ลวด,50ก |
ท่อไอเสียโรงงาน
| Flow:2.0 ลบ.ม./นาที |
Gas requirements for plant work
| Flow:1~10 L/min ความดัน:3~7 กก./ซม.² Pipe diameter:8×5มม พื้นผิว:ท่อพียู ความบริสุทธิ์:More than 99.99% |
Factory compressed air requirements
| Flow:1~10 L/min ความดัน:3~7 กก./ซม.² Pipe diameter:8×5 mm พื้นผิว:PUpipe Dew point:-40℃ under อนุภาค>0.3μm:10ชิ้น/ฟุต³ |
2.3 ชโดยทั่วไป รข้อกำหนด
General requirements | |
การระบุความเสี่ยง | การระบุอันตรายจากแรงดันสูง
|
Service environment | อุณหภูมิ:15~30℃ ความชื้น:30~70% |
Other matters needing attention | ก๊าซที่ไม่ติดไฟ, ก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน, การระเบิดหรือฝุ่นที่เกิดปฏิกิริยา Gas cylinders need to be fixed |
Configuration list | |||||
หมายเลขซีเรียล | ชื่อ | description | หน่วย | ปริมาณ | |
1 | เครื่องยนต์หลัก | มิติขอบเขต:1020×1720×1120mm (width × height × depth) | Pc | 1 | |
2 | Love sincerely | Aluminum alloy vacuum chamber inside dimension 500×500×675mm (width × height × depth) | Pc | 1 | |
3 | Excitation power supply | radio-frequency power supply | edium-frequency power supply | ชุด | 1 |
ความถี่:13.56เมกะเฮิรตซ์; พลัง 0 ~ 600 ว Or 0~1000W is optional; Fully automatic vacuum capacitor matching unit | ความถี่:40กิโลเฮิรตซ์; 0~1000W or 0-2000w
| ||||
4 | บมจ | Siemens,S7-200 | Pc | 1 | |
5 | หน้าจอสัมผัส | Wei lun tong,7 inch screen,MT6071iE | Pc | 1 | |
6 | Flowmeter | British wawick brand | Pc | 2 | |
7 | ปั๊มสุญญากาศ | Flyover double-stage vane pump (oil pump):60m3/h | Pc | 1 | |
8 | Vacuum gauge | The fu kang | Pc | 1 | |
9 | ข้อมูลจำเพาะ | Vacuum plasma cleaning machine spv-150 operation manual | Pc | 1 |