SPV-200 เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าระบบสุญญากาศ
- คำอธิบาย
- สอบถามรายละเอียดเพิ่มเติม
คำอธิบาย
SPV-200 เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าระบบสุญญากาศ
Outline:
Vacuum Plasma Cleaner(เครื่องทำความสะอาดพลาสม่า),the gas is separated into plasma state through the excitation power supply, and the plasma ACTS on the product surface to clean the pollutants on the product surface, so as to improve the surface activity and enhance the adhesion.Plasma cleaning is a new, การคุ้มครองสิ่งแวดล้อม, efficient and stable surface treatment.
SPV-200 เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าระบบสุญญากาศ
ปroduct feature:
1.Product placement fixture flexible, can adapt to irregular products
2.Horizontal electrode design can meet the requirements of soft product processing.
3.Low energy and gas consumption products.
4.Convenient way to put up and down the board
5.Vacuum system integration, small footprint
6.Reasonable plasma reaction space, so that the treatment is more uniform
7.Integrated control system design makes operation more convenient
SPV-200 เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าระบบสุญญากาศ
ฉันndustry application:
1.Mobile phone industry: TP, middle frame, back cover surface cleaning activation
2.PCB/FPC industry: hole drilling and surface cleaning, Coverlay surface coarsening and cleaning
3.Semiconductor industry: semiconductor packaging, โมดูลกล้อง, LED packaging, BGA packaging, 4.Wire Bond pretreatment
5.Ceramics: บรรจุภัณฑ์, pre-treatment of glue
6.Surface roughening etching: PI surface roughening, PPS etching, semiconductor silicon chip PN junction removal, ITO film etching
7.Plastic materials: Teflon surface activation, ABS surface activation, and other plastic material cleaning activation
8.Clean the surface before applying ITO
SPV-200 เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าระบบสุญญากาศ
สpecification of equipment:
| Power system | radio-frequency power supply | medium-frequency power supply | |
| พลัง | 0~1000W | 0~2000W | |
| ความถี่ | 13.56เมกะเฮิรตซ์ | 40กิโลเฮิรตซ์ | |
| ระบบสูญญากาศ | · multi cell pump
| Roots pump + single stage rotary vane pump | |
| vacuum line | All stainless steel piping, and high strength vacuum bellows | ||
| · Material
| อลูมิเนียมอัลลอยด์ (customizable stainless steel chamber) | ||
| ความหนา | 25มม | ||
| leakproofness | Military grade welding seal | ||
| Cavity internal dimensions | 600×600×600mm（W×H×D） | ||
| Effective size of electrode plate | 575×510mm（W×D） | ||
| Available space spacing | 34มม | ||
| Electrode plate layout | Horizontal layout, movable extraction | ||
| Work tray | Standard set, material optional (อลูมิเนียม, wire mesh) | ||
| work space | 8 layer | ||
| Gas system | flow range | 0~300SCCM | |
| Process gas gas circuit | Standard two channels, สามารถปรับแต่งได้ (อาร์กอน, ออกซิเจน, ไนโตรเจน, hydrogen, carbon tetrafluoride) | ||
| ระบบควบคุม | systems control | บมจ | |
| delivery method | 7 หน้าจอสัมผัสขนาดนิ้ว | ||
| · Other Parameter
| มิติขอบเขต | 1050×1750×1050mm（宽×高×深） | |
| น้ำหนัก | 350กิโลกรัม | ||
| Device Appearance Color | silver gray | ||
ข้อมูลจำเพาะของโรงงาน:
| ข้อมูลจำเพาะของโรงงาน | |
| ข้อมูลจำเพาะของไฟ AC
| แหล่งจ่ายไฟ：AC380V，50/60เฮิรตซ์，5ลวด，50ก |
| ท่อไอเสียโรงงาน
| Flow：2.0 ลบ.ม./นาที |
| Gas requirements for plant work
| Flow：1~10 L/min ความดัน：3~7 กก./ซม.² Pipe diameter：6×4 mm พื้นผิว：ท่อพียู ความบริสุทธิ์：More than 99.99% |
| Factory compressed air requirements
| Flow：1~10 L/min ความดัน：3~7 กก./ซม.² Pipe diameter：8×5 mm พื้นผิว：ท่อพียู Dew point：-40℃ under อนุภาค>0.3μm：10ชิ้น/ฟุต³ |
2.3 ชโดยทั่วไป รข้อกำหนด
| General requirements | |
| การระบุความเสี่ยง | การระบุอันตรายจากแรงดันสูง
|
| Service environment | อุณหภูมิ：15~30℃ ความชื้น：30~70% |
| Other matters needing attention | ก๊าซที่ไม่ติดไฟ, ก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน, การระเบิดหรือฝุ่นที่เกิดปฏิกิริยา Gas cylinders need to be fixed |
| Configuration list | |||||
| หมายเลขซีเรียล | ชื่อ | description | หน่วย | ปริมาณ | |
| 1 | เครื่องยนต์หลัก | มิติขอบเขต：1050×1750×1050mm (width × height × depth) | Pc | 1 | |
| 2 | Love sincerely | Aluminum alloy vacuum chamber inside dimension 450×450×500mm (width × height × depth) | Pc | 1 | |
| 3 | Excitation power supply | radio-frequency power supply | edium-frequency power supply | ชุด | 1 |
| ความถี่：13.56เมกะเฮิรตซ์； พลัง： 0~1000W Equipped with automatic vacuum capacitor matching machine | ความถี่：40กิโลเฮิรตซ์； 0~2000W;
| ||||
| 4 | บมจ | Siemens，S7-200 | Pc | 1 | |
| 5 | หน้าจอสัมผัส | Wei lun tong，7 inch screen，MT6071iE | Pc | 1 | |
| 6 | Flowmeter | · British wawick brand,อาร์กอน,Oxygen
| Pc | 2 | |
| 7 | ปั๊มสุญญากาศ | Roots pump (BSJ70) -251 m3/h + single stage rotary vane pump (Laipo SV100B-100m3/h) | Pc | 1 | |
| 8 | Vacuum gauge | · INFICON
| Pc | 1 | |
| 9 | ข้อมูลจำเพาะ | Vacuum plasma cleaning machine spv-200 operation manual | Pc | 1 | |
